設備使用收費制度
台灣大學資電中心、新興物質與前瞻研究中心及電機系教授
電子束微影系統ELS-7000 : (6hr/每週)
每半年度 $104,000元 ( $666 / hr )
聚焦離子束/電子束雙束系統Nova-600i :
使用電子束 $2400/hr ； 使用離子束 $4000/hr
設備訓練暨考核收費制度
ELS-7000 :
機台訓練: 每次$2,000元
機台考核: $2,000元
Nova-600i :
機台訓練: 每小時$2,000元
機台考核: 每小時$2,000元
臺灣大學教授
電子束微影系統ELS-7000 : (6hr/每週)
每半年度 $156,000元 ( $1000 / hr )
聚焦離子束/電子束雙束系統Nova-600i :
使用電子束 $2400/hr ； 使用離子束 $4000/hr
追加設備使用時段收費制度
1. 臺灣大學資電中心、新興物質與前瞻元件中心及電機系教授 :
電子束微影系統ELS-7000: $1,000元/每1小時
2. 臺灣大學教授 :
電子束微影系統ELS-7000: $1,500元/每1小時
3. 校外會員 :
電子束微影系統ELS-7000: $2,000元/每1小時
校外會員
電子束微影系統ELS-7000 : (6hr/每週)
每半年度 $208,000元 ( $1333 / hr )
聚焦離子束/電子束雙束系統Nova-600i :
使用電子束 $2400/hr ； 使用離子束 $4000/hr
說明:
1. 每位教師會員之學生皆需通過機台考核方可使用設備。
2. 每位教師會員不限制其學生使用人數上限，惟每週使用時數以各方案之 規定時數為上限。
3. 使用費用每半年度結算一次。
